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    氣相沉積爐
    氣相沉積爐
    主要特點 :
    氣相沉積爐的用途: 本化學氣相沉積石墨化一體爐可用于以碳氫氣體(如C3H8等)為碳源的復合材料的化學氣相沉積,如C/C復合材料、SiC復合材料等的CVD、CVI處理、石墨件的表面增碳處理、石墨烯的生產。
    使用行業 :
    • 產品詳情
    • 產品規格
    • 使用步驟
    • 氣相沉積爐原圖2

      氣相沉積爐的用途:
        本化學氣相沉積石墨化一體爐可用于以碳氫氣體(如C3H8等)為碳源的復合材料的化學氣相沉積,如C/C復合材料、SiC復合材料等的CVD、CVI處理、石墨件的表面增碳處理、石墨烯的生產。
       氣相沉積爐的特點:
        采用多功能高溫設計,可實現化學氣相沉積和石墨化處理一次性完成。
        使用溫度高達2600,并可長時間穩定可靠運行。
        采用熱電偶和紅外測溫儀組合的測溫自動轉換系統,可實現全溫度段的顯示和控制。
        采用IGBT為主功率器件的感應加熱變頻控制系統,使得設備節能省電,諧波分量小,對外部設備無干擾。
        進出氣體的精確流量顯示和控制,保證了產品的穩定性。
        采用特殊結構沉積室,密封效果好,抗污染能力強; 
        采用多通道沉積氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;
        特制的過濾系統,對炭沉積過程中產生的焦油、固體粉塵、有機氣體等能進行有效處理;
       氣相沉積爐的技術參數:


      參數

      型號

      HYSJL-3040

      HYSJL-4050

      HYSJL-5060

      HYSJL-6080

      HYSJL-8080

      工作區尺寸DXHmm)

      Ф300X

      400

      Ф400X

      500

      Ф500X

      600

      Ф600X

      800

      Ф800X

      800

      工作溫度(

      1500

      2600

      1500

      2600

      1500

      2600

      1500

      2600

      1500

      2600

      溫度均勻性(

      ±7.5

      ±7.5

      ±7.5

      ±7.5

      ±7.5

      工作電壓(V)

      三相380

      額定功率(KW)

      40

      80

      60

      150

      80

      160

      90

      200

      160

      350

      工作氣氛

      真空/氬氣/氮氣/氫氣/炳烷/石油天然氣

      以上化學氣相沉積爐技術參數可根據工藝參數進行調整,不作為驗收依據,具體以技術方案和協議為準??蓪⒒瘜W氣相沉積和高溫石墨化兩種功能分開,單獨做成化學氣相沉積爐和高溫石墨化爐。

       



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